リソグラフィ向けゴア® 高屈曲ケーブル＆アセンブリ
ゴアの清浄度グレード2および4のケーブルは、真空・非真空用途での発塵と汚染が少ない傑出した製品です。数百万回におよぶ高速・高加速度の屈曲サイクル条件下でも信頼性の高い性能を発揮することが確認されており、メンテナンスの低減とEUV・DUVリソグラフィ装置の稼働時間の増加につながります。
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ホワイトペーパー：クリーンルーム環境のケーブル発塵調査
ホワイトペーパー, 295.17 KB
ケーブルチェーン内のケーブルからの発塵は、半導体用クリーンルーム環境にとって難しい課題です。ゴア® トラックレス高屈曲ケーブルとゴア® 高屈曲フラットケーブルは、このような低発塵性が要求される環境でも安心してご使用いただけます。ドイツのフラウンホーファー研究機構による調査の結果をご覧ください。
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製品概要
スピードと生産量を上げて清浄性と精度も確保
5Gやクラウド、AIが要因となって増大している半導体の需要は、住宅や職場、交通機関に組み込まれる機器やテクノロジーが増えるにつれて拡大する一方です。この需要の高まりに対応するため、EUV（極端紫外線）リソグラフィやDUV（深紫外線）リソグラフィのプロセスを用いる半導体工場では、プロセスにおけるクリーン性や精度を損なうことなくスピードと生産量を上げなければなりません。
ゴアは将来を見据えて、お客様の要求の高度化に対応しています。ケーブルのクリーン性、耐久性、屈曲性、信頼性について、より厳格な最新の基準に適合できる態勢を整えられるよう、真空・非真空環境向けの技術・設備とケーブルを最適化し続けています。
ゴア® 高屈曲ケーブル＆アセンブリは、連続2000万回を超える屈曲の後でも発塵が非常に少なく、EUV・DUV露光機のニーズに対応したカスタム製品です。弊社では真空対応ケーブルに必ずRGA（残留ガス分析）試験を実施して、清浄度がお客様の仕様に適合することを確認しています。
ケーブルが長いほど、データ伝送は不安定になります。弊社の信号品質の実験室でアイ・ダイアグラム試験を行った結果、ゴアの高屈曲ケーブルは誘電率が低く、信号品質の信頼性を維持し、長距離で高精度の高速データ伝送を行えることが検証できました。
先端リソグラフィ用途向けの設計
CxHyやH2Oなどの揮発性アウトガスは、真空容器内に拡散してプロセスチャンバーを汚染し、投影精度にとって重要な放物面ミラーに曇りを発生させます。ゴアのフッ素樹脂は化学的に不活性なので、このアウトガスの低減が可能です。ゴアが有する材料についての専門知識と厳しい洗浄プロセスにより、原材料から1本1本のケーブル、最終アセンブリに至るまで、ケーブル完成品の構成要素1つ1つが高クリーンな露光プロセスと高真空用途で要求されるクリーン性を実現します。
ゴアの真空用途向け高屈曲ケーブルは強じんで、数百万サイクルの屈曲後も発塵量は非常に低い値です。
真空用ケーブルが屈曲と圧力を受ける際に、ケーブル同士が接触すると、摩擦によって材料からパーティクルが脱落して真空環境を汚染する可能性があります。ゴアの低摩擦材料と、その加工技術により、生産量（ウエハー処理速度）の目標が高くなって負荷が増大しても、発塵を非常に少なく抑えることが可能となります。また、ゴアのケーブルに使用されている超高真空用部品は機械的強度が高く、高加速度・高速で2000万サイクルの屈曲を行った後でも発塵量は非常に低い値です。
さらに、ゴアの高屈曲ケーブルは曲げ半径が小さいため、狭いスペースでも取付けが容易で、特殊な配線を行える自由度も高まります。
用途
ゴア® 高屈曲ケーブル＆アセンブリは、EUV露光装置内部において、以下のような複数のプロセスで必要とされる清浄度と耐久性を持っています。
- ウエハー搬送系、ウエハーステージ
- レチクル搬送系、レチクルステージ、レチクルマスク
- その他
ゴアのリソグラフィ向け高屈曲ケーブルは、評価実証済みの確かな品質で、以下を始めとする自動検査システムの生産性と精度を支えます。
- 光学計測システム
- マスク検査システム
- マルチ電子ビーム検査システム
特長とメリット
屈曲用途向けに設計されたゴア® 高屈曲ケーブル＆アセンブリは、EUV高真空環境で要求される優れた特長に加えて、EUV露光機と非真空DUV露光機の両方で求められる極めて高い耐久性、屈曲性、信頼性も備えています。
- 低発塵、低アウトガスの材料
- 化学的に不活性で耐熱性のある材料
- 薄型で屈曲性の高いフラットケーブル構造
ゴアの高屈曲ケーブル＆アセンブリ製品には、以下のように、他のリソグラフィ用ケーブルとは一線を画した多数の利点があります。
- EUVクリーンクラス2のケーブル仕様とDUVクリーンクラス4のケーブル仕様に適合
- 2000万回を超える反復屈曲サイクルに耐えることを確認済み
- データ伝送速度の向上と優れた信号品質を実現
- 曲げ半径が小さく屈曲性が高いため、取り付けが容易で特殊な配線を行える自由度も確保
- 歩留・生産性向上の要求に対応
- メンテナンス、ダウンタイム、コストが低減、EUV・DUV装置の稼働時間が増加
技術仕様
以下の値はリソグラフィ向けゴア® 高屈曲ケーブル＆アセンブリの特性を示します。
| 電気・機械・環境特性 | データ | データ |
|---|---|---|
| 真空 | 非真空 | |
| 最大加速度b（m/sec2） | > 40a | > 40a |
| 速度（m/sec） | > 3a | > 3a |
| ジャケット材料 | PTFE | 延伸PTFE複合材 |
| ジャケットの色 | 白 | 白 |
| ケーブルの種類 | 信号、電力線、圧力空気、流体 | 信号、電力線、圧力空気、流体 |
| 最大自立ストローク長（mm（inch）） | 500 (20) | 500 (20) |
| 総幅（mm（inch）） | 135 (5) | 300 (12) |
| 最少曲げ半径 | > ケーブル外径×10a | > ケーブル外径×10a |
| 屈曲耐久性（サイクル）（曲げ半径50mmで最大加速4G） | > 2000万a | > 2000万a |
| 温度範囲（°C） | -20～+260a | -20～+260a |
| 清浄度クラス（ISO14664-1） | 2 | 4 |
| 発塵発生率c （%） （ISO14644-1 / VDIガイドライン2083） | < 0.1 | < 0.1 |
| アウトガス量（mBar L/sec cm2） | ||
| H20（18 AMU）d | 4.00E-09 | N/A |
| CxHyv（揮発性炭化水素） （45～100 AMU）d | 1.00E-10 | N/A |
| CxHynv（不揮発性炭化水素） （101～200 AMU）d | 6.00E-12 | N/A |
| パーティクルフリー | 対応可 | 対応可 |
| 認証 | UL | UL |
a) ケーブルのデータは用途ごとの要件により異なります。
b) これ以上の加速度と速度が求められる用途については、ゴアの担当者にお問い合わせください。
c) フラウンホーファー研究機構によるクリーンルーム環境のケーブル発塵調査の詳細は、gore.com/particulationからご覧いただけます。
d) AMU＝原子質量単位
ゴア製品が選ばれる理由
リソグラフィの場合、お客様が必要としているのは単なるケーブルやアセンブリの「製品」ではありません。必要なのは、豊富な知見と技術力を有する実績あるパートナーがバックアップする、最先端の総合的ソリューションです。
弊社とご協力いただき、高屈曲EUV・DUV用途向けゴアのケーブルおよびアセンブリをご指定いただければ、ウエハー処理速度を上げて数百万サイクルの生産を行う場合でも、メンテナンスとダウンタイムを低減することが可能になります。ゴアは単に超高真空ケーブルを提供するだけでなく、高度な要求にも対応します。
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現在コロナ禍が続いていることから、IMS2020はライブストリーミングを伴うバーチャルでの開催へ変更になりました。このシンポジウムの主なテーマには5Gコネクティビティがあり、ゴアは、信頼性の高い5G試験向けマイクロウェーブ/RFテストアセンブリのラインアップを紹介します。ゴアのケーブルアセンブリは、ばらつきが少なく安定した性能を長期間維持できるため、精度と信頼性の高い試験が実施できることをご説明いたします。
本製品は、一般工業用途に限定してご使用ください。
食品、医薬品、化粧品、医療機器の製造、処理、または包装作業にはご利用いただけません。
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