リソグラフィ向けゴア^® ウルトラクリーンラウンドケーブル＆アセンブリ

5Gやクラウド、AIが要因となって拡大している半導体需要は、住宅や職場、交通機関に組み込まれる機器やテクノロジーが増えるにつれて拡大する一方です。この需要の高まりに対応するため、EUV（極端紫外線）リソグラフィやDUV（深紫外線）リソグラフィのプロセスを用いる半導体工場では、プロセスにおけるクリーン性やプロセス精度を損なうことなくスピードと生産量を上げなければなりません。

ゴアは将来を見据えて、お客様の要求の高度化に対応しています。ケーブルのクリーン性、耐久性、屈曲性、信頼性について、より厳格で最新の基準に適合できる態勢を整えられるよう、技術・設備とケーブルを真空環境向けに最適化し続けています。

ゴア® ウルトラクリーンラウンドケーブル＆アセンブリの材料特性と性能特性は、これら目標に完全に合致しています。優れた精度と高クリーン性で超微細化に対応し、優れた信頼性で歩留・品質・スピード向上の要求に対応します。ゴアのケーブルは、長距離でのデータ伝送速度と信号品質の向上を実現し、終端接続の精度と信頼性も確保できます。

ePTFE（延伸ポリテトラフルオロエチレン）などの化学的に不活性でコンタミネーションとアウトガスが少ないフッ素樹脂を使用しているため、優れた清浄度、耐久性、性能が得られます。また、お客様の要求に合わせてアウトガスのレベルをさらに下げることも可能です。

ゴアが有する材料についての専門知識と厳しい洗浄プロセスにより、原材料から1本1本のケーブル、最終アセンブリに至るまで、ケーブル完成品の構成要素1つ1つが高清浄なリソグラフィプロセスと高真空用途で要求されるクリーン性を実現します。

さらに、曲げ半径が小さい設計なので、狭いスペースでも取り付けが容易で、終端接続の精度と信頼性も確保できます。本製品は最先端のEUV露光装置のクリティカルプロセスで使用することが認められています。

最先端のEUV露光装置には複数の高度なハンドリング・露光機能が備わっていますが、これらはいずれも、半導体に求められる高いクリーン性が得られるよう、高真空環境内で行われています。

このようなシステムの心臓部で光学的な加工が行われますが、プロジェクションオプティクスボックス（POB）と光源にウルトラクリーンラウンドケーブルが使用されています。光がレチクルからウエハーに届くまでの間に、複雑に並んだ反射鏡によってレチクルのマスクパターンがチップのサイズまで縮小されます。

固定用途向けに設計されたゴア® ウルトラクリーンラウンドケーブル＆アセンブリは、高真空環境用の極めて厳しい要件に適合した特長を備えています。

• 低発塵、低アウトガスの材料
• 化学的に不活性で耐熱性のある材料
• 非常に屈曲性の高いラウンドケーブル構造

ゴアのケーブルおよびアセンブリ製品には、以下のように、他のリソグラフィ用ケーブルとは一線を画した利点がいくつかあります。

• EUVクリーンルームクラス1仕様に適合した高いクリーン性を実現
• 精度と清浄度の向上によりさらなる微細化をサポート
• 長距離でのデータ伝送速度と信号品質を向上
• 曲げ半径が小さく屈曲性が高いため、取り付けが容易で終端接続の精度と信頼性も確保
• 信頼性が高まることで、歩留・生産性向上の要求に対応
• メンテナンス、ダウンタイム、コストが低減、EUV装置の稼働時間が増加

以下データはリソグラフィ向けゴア® ウルトラクリーンラウンドケーブル＆アセンブリの性能を示したものです。

リソグラフィ用途では、お客様が必要としているのは単なるケーブルやアセンブリの「製品」ではありません。必要なのは、豊富な知見と技術力を有する実績あるパートナーがバックアップする、最先端の総合的ソリューションです。

ゴアとご協力いただき、固定用途・高屈曲用途向けの信頼性の高いゴアのケーブルおよびアセンブリをご指定いただければ、ウエハー処理速度を上げて数百万サイクルの生産を行う場合でも、EUV装置の稼働時間を伸ばすことが可能になります。ゴアは単に超高真空ケーブルを提供するだけでなく、超高度な要求にも対応します。

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