半導体生産設備向けGORE®トラックレスケーブル
軽量の自立型ケーブルでケーブルトラックやケーブルチェーンを一切必要としないため、ケーブル管理システムを簡素化できます。また、発塵、振動、大型化、重量に起因する問題も解決できます。動作がスムーズなので高い位置精度、より高速なストローク速度、容易な装着で、よりクリーンな運転を可能にします。半導体製造のスループットと歩留まりを改善してメンテナンスとトータルコストを低減するのに役立ちます。
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製品概要
スループットと歩留まりを高め、トータルコストを削減
メーカー各社がケーブルソリューションに求めているのは、自動化設備を最高速度で稼働させ、生産の精度を上げてダウンタイムを減らすための清浄度と耐久性です。
ゴア® トラックレスケーブルは、高い位置精度、より高速なストローク速度でげ、直動がスムーズです。また、装着も容易で、よりクリーンな運転が可能になります。自立型ケーブルなので、ケーブルチェーンやケーブルベアが不要です。また、従来のケーブルチェーンやケーブルトラックで生じていた発塵や振動、サイズ、重量、メンテナンス費用に関する多くの問題を解消できます。
ゴアの堅牢なトラックレスケーブルを自動化設備に使用することで、メーカーではシステムの総設置スペースを削減し、スループットと歩留まりを高め、メンテナンスとトータルコストを低減することができます。
ケーブル管理システムをシンプル化
電線、信号線やエアー用チューブが省スペースのトラックレスフレキシブルケーブルアセンブリ1つに統合されているため、ケーブル管理システムをシンプル化できます。フラットな構造のケーブルなのでケーブルチェーンが不要となり、可動ケーブルシステムの総重量を減らせます。複数のケーブルアセンブリを積み重ねてシステムの総設置スペースを抑えることも可能です。
フラットケーブルとラウンドケーブルのサイズを比較すると、ゴアのフラットケーブルに使用されている耐久性のある材料は、厚みが多くのラウンドケーブルの2分の1～3分の1で、UL規格の安全性と難燃性の基準も満たしています。曲げ半径が小さい状態での屈曲寿命が実証されている軽量のケーブルのため、取り付けが非常に容易で、また、安心してシステム設計ができる性能特性を有しています。
微粒子の発生を低減
ISOクラス1の認証を受けたゴア® トラックレスケーブルは、低い発塵性が要求されるクリーンルーム環境でも安心して使用可能です。VDIガイドライン2083とISO14644-1に定められた計算法を用いてドイツのフラウンホーファー研究機構が算出した結果によれば、ゴアの低発塵ケーブルが微粒子を放出する確率は0.1％未満となっています。繰り返し屈曲されても、低い発塵レベルを維持します。
フラウンホーファー研究機構によるクリーンルーム環境のケーブル発塵調査の詳細をご確認ください。
用途
確かな屈曲耐久性と信頼性を備えたゴア® トラックレスケーブルは、以下を始めとする各種の半導体生産設備で使用されています。
- クリーンルームのオートメーション
- 高度なパッケージング設備
- 前工程のウエハー検査
- ウエハー計測機器
- 半導体自動光学検査（AOI）
- 半導体加工設備
- 直動ステージ
- ピックアンドプレース設備
- ウエハーのハンドリング
- フラットパネルディスプレイ（FPD）製造設備
- COMSイメージセンサー（CIS）パッケージング設備
- レンズ製造設備
新規の可動ケーブルシステム用に確かな長期屈曲耐久性と信頼性を備えたソリューションが必要なお客様は、お問い合わせフォームからご連絡ください。
特長と利点
ゴア® トラックレスケーブルは、以下を始めとする独自の特長：
- フラットケーブル構造でケーブルチェーンが不要
- 低摩擦で発塵しない材料
- 耐熱性があり化学的に不活性な材料
半導体オートメーション設備メーカーでゴアの低振動ケーブルを使用すると、以下のような多くの利点によって信頼性が確保できます。
- クリーンルーム環境におけるISOクラス1認定を取得
- スループットと歩留まりの上昇
- メンテナンス、ダウンタイム、総コストの低減
- 振動を抑えて位置精度を改善
- 信頼性の高い信号品質
- 完全オーダーメイドのソリューション
- マウンティングクランプで取り付け容易
オートメーション設備にゴアのトラックレスケーブルを採用するメリットについてお考えのお客様は、お問い合わせください。ゴアの製品がどう役立つかを詳しくご説明いたします。
技術仕様
以下の値は、クリーンルーム環境における半導体生産設備向けゴア® トラックレスケーブルの電気的、機械的、環境的性能を示します。
| 電気的/ 機械的/ 環境的特性 | 値 |
|---|---|
| 最大加速度 g (m/sec2) | 4.0 (40) |
| 速度 m/sec | 4.0 |
| ジャケット材料 | 延伸PTFE（ePTFE）複合材 |
| ジャケットの色 | 白 |
| ケーブル種類 | 信号、電力線、光ファイバー、圧力空気 |
| 最大自立ストローク長a mm (in) | 1500 (60) |
| 総幅b mm (in) | 最大105 (4.1) |
| 最小曲げ半径b mm (in) | 50 (2) |
| 屈曲耐久性（サイクル）（曲げ半径50mmで最大加速4G） | > 1000万 |
| 温度範囲 °C | -40～+80 |
| 清浄度クラス（ISO14664-1、屈曲サイクル最大100万回） | 1 |
| 認証c | UL、CE |
| 発塵率d % (ISO14664-1 / VDIガイドライン2083) | < 0.1 |
a.要ベースプレート。
b.標準タイプのみ。
c.ULスタイル21090：80℃、圧力空気管はUL認定ではありません。
d.フラウンホーファー研究機構によるクリーンルーム環境のケーブル発塵調査に関する詳細は、gore.com/particulationでご覧いただけます。
カスタマイズとご購入について
関連資料
半導体アプリケーション向け
GORE® 高屈曲ケーブルポートフォリオ
データシート, 1.47 MB
White Paper: Cable Particulation Study for Cleanroom Environments
White Papers, 144.55 KB
最新ニュース
現在コロナ禍が続いていることから、IMS2020はライブストリーミングを伴うバーチャルでの開催へ変更になりました。このシンポジウムの主なテーマには5Gコネクティビティがあり、ゴアは、信頼性の高い5G試験向けマイクロウェーブ/RFテストアセンブリのラインアップを紹介します。ゴアのケーブルアセンブリは、ばらつきが少なく安定した性能を長期間維持できるため、精度と信頼性の高い試験が実施できることをご説明いたします。
本製品は、工業製品に限定してご使用ください。
食品、医薬品、化粧品または医療機器の製造、加工、包装工程にはご使用いただけません。
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