ゴアは2009年以降、テクノロジーをリードする企業各社と提携して、超高クリーン・超高真空環境で稼働する露光装置向けに信頼性の高いカスタムケーブルを開発してきました。ゴアの深い知識、材料に関する専門的な知見、洗浄プロセス、厳しい品質試験から生まれたリソグラフィ用途向けの革新的なケーブルアセンブリをご利用いただくことで、絶えず変化を続ける業界の要求に対応できます。

EUVリソグラフィやDUVリソグラフィのプロセスでは、光を用いてシリコン半導体ウエハーに回路パターンを転写し、電子回路を形成します。EUVリソグラフィはDUVリソグラフィと比べて波長が短いため、半導体チップ1枚に配置できる電子回路がより多くなります。次世代技術の高NA EUV露光装置では、さらに配線を細く、半導体チップを高密度化・高性能化することが可能になります。この次世代技術に伴って、各プロセスで精度とクリーン性をさらに高めることが要求されます。

ゴアなら、露光装置メーカーが直面しているこれらの課題への対処をお手伝いできます。ゴアが提供する実績ある高性能半導体ケーブルは、固定用途と屈曲用途の2つのカテゴリーがあり、いずれも高真空環境に適合しています。また、確かな清浄度、耐久性、信頼性が得られるため、半導体工場では歩留を損なうことなく動作スピードとアウトプットを上げることが可能になり、長期的にはメンテナンスとダウンタイムを低減してトータルコストを抑えることにもつながります。

信号伝送の信頼性が高いゴアのケーブルは、最先端の半導体露光装置のウエハーハンドリングプロセスや露光プロセスに採用されています。また、自動ウエハー検査、フォトマスク、半導体チップ品質管理用のさまざまな計測・検査装置でも使用されています。

ゴアのカスタマイズに妥協はありません。

ゴアの経験豊富な担当チームが行うカスタマイズに妥協はありません。新規装置設計が実施されるごとに、ゴアは材料に関する専門知識を駆使し、共同開発への責任を果たします。なぜなら、ゴアのリソグラフィケーブルはいずれも共同設計によるカスタム品だからです。延伸多孔質ポリテトラフルオロエチレン(ePTFE)製の被覆材から1本1本のケーブル、1000本を超えることもあるケーブル一式の完成品まで、すべての設計、生産、品質保証をゴアが実施しています。

材料や構成要素は、1つ1つお客様の個別の要求に適合させています。ePTFEの特性を調整して発塵や汚染を極めて低く抑えることにより、真空環境やその他のリソグラフィ特有のニーズに対応可能です。また、ケーブルの清浄度、耐久性、屈曲寿命、信頼性に関する業界の規格が厳しくなるのに合わせて、試験方法や機器を継続的に改善しています。

原材料からアセンブリの完成品に至るまでのプロセスを自社で保有するゴアは、製品がお約束した通りの性能を確実に発揮させる責任を負っています。

ゴアのケーブルソリューション:リソグラフィに。あなたに。

超高清浄度と信頼性を発揮するゴアのケーブルとアセンブリは、歩留、品質、動作スピードの向上と同時に、精度とクリーン性を高めるという難題に対応可能なカスタム設計になっています。耐久性と高性能を備えたリソグラフィ用半導体ケーブルとして、要求の厳しい清浄度クラス1の高真空環境と、清浄度クラス2および4のEUV・DUV用途への適合が認定済みです。また、小さい半径で曲げられるので、設置しやすく、装置スペースの自由度も高まります。

非動作用途には、清浄度クラス1のゴア® ウルトラクリーンラウンドケーブル&アセンブリをご利用ください。トップレベルのクリーン性を誇るゴアのケーブルは、クリーン性の要件が極めて厳しい装置の最重要部で使用されています。ゴアのePTFEを始めとするさまざまなフッ素樹脂で構成されていて、アウトガス放出量は元々少ないですが、個別の要求に合わせてさらに減少させることも可能です。

ゴアの高クリーン屈曲ケーブルソリューションで、リソグラフィ用途におけるケーブルの信頼性向上/確かな信頼性を実現。

EUV・DUV用途では、清浄度クラス2および4のゴア® 高屈曲ケーブル&アセンブリが、数百万回におよぶ高速・高負荷の屈曲サイクル条件下でも信頼性の高い性能と清浄度を実現します。通常のケーブルでは不具合が生じるような厳しい環境に対応する確かな耐久性を備えたゴアの低アウトガス・高屈曲真空ケーブルは、信号品質と伝送速度を向上させることが可能です。ガスや液体用のチューブと、データおよび高出力・低出力の電気信号用のケーブルとが共に組み込まれた複雑な構成のEUV・DUVケーブルでは、こういった特長が非常に重要になります。

ゴアのリソグラフィケーブルの検討にあたって

ゴアが選ばれるのはなぜでしょうか。それは、ゴアが半導体リソグラフィ関連顧客に供給する高品質なケーブルにより、メンテナンスと装置ダウンタイムを低減して装置のライフサイクル全体を通したトータルコストを抑えるというメリットを提供できるからです。ゴアでは、リソグラフィ業界の耐久性、アウトガス性能、清浄度、屈曲性に関する非常に厳しい基準に適合するようケーブルを設計、加工、製造しています。ゴアのケーブルは、高いクリーン性が要求されるリソグラフィプロセスや真空用途に使用した場合に、コンタミ汚染と発塵が非常に少なく信号品質の信頼性が高いことが実証されています。

露光装置および計測・検査装置の個別のニーズや要件に合わせたケーブルのカスタマイズについて、詳しい内容やご相談は専門の担当者にお問い合わせください。


本製品は、一般工業用途に限定してご使用ください。

食品、医薬品、化粧品、医療機器の製造、処理、または包装作業にはご利用いただけません。

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